Ръководство за избор на вакуумна помпа ---
Когато избирате вакуумна помпа, трябва да обърнете внимание на следните неща:
1. Работното налягане на вакуумната помпа трябва да отговаря на изискванията за максимален вакуум и работно налягане на вакуумното оборудване. Например: вакуумното покритие изисква степен на вакуум от 110-5mmHg, а степента на вакуум на избраната вакуумна помпа трябва да бъде поне 510-6mmHg. Обикновено степента на вакуум на помпата се избира да бъде с половин до един порядък по-висока от степента на вакуум на вакуумното оборудване.
2. Правилно изберете работната точка на вакуумната помпа. Всеки тип помпа има определен диапазон на работно налягане, като 10-3~10-7mmHg за дифузионна помпа. В рамките на такъв широк обхват на налягане скоростта на изпомпване на помпата се променя с налягането и нейният стабилен диапазон на работно налягане е 510-4 ~510-6 mmHg. Следователно работната точка на помпата трябва да бъде избрана в рамките на този диапазон и не може да бъде оставена да работи под 10-8 mmHg за дълго време. Друг пример е, че помпата за сублимация на титан може да работи при 10-2 mmHg, но работното й налягане трябва да е по-малко от 110-5 mmHg.
3. Вакуумната помпа трябва да може да изхвърля целия газ, генериран по време на процеса на вакуумно оборудване под работното си налягане. 4. Комбинирайте правилно вакуумната помпа. Тъй като вакуумните помпи имат селективни възможности за изпомпване, понякога един тип помпа не може да отговори на изискванията за изпомпване и е необходимо няколко помпи да се комбинират, за да се допълват взаимно, за да отговорят на изискванията за изпомпване. Например титанова сублимационна помпа има висока скорост на изпомпване за водород, но не може да изпомпва хелий, докато триполюсна йонна помпа (или диодна асиметрична катодна разпръскваща йонна помпа) има определена скорост на изпомпване за аргон. Комбинирано, вакуумното устройство ще постигне по-добра степен на вакуум. Освен това някои вакуумни помпи не могат да работят при атмосферно налягане и изискват предварителен вакуум; някои вакуумни помпи имат налягане на изхода по-ниско от атмосферното и изискват помощна помпа, така че помпите трябва да се комбинират.
5. Изисквания за маслено замърсяване във вакуумно оборудване. Ако оборудването стриктно изисква безмаслени помпи, трябва да се изберат различни безмаслени помпи, като например: помпи с воден пръстен, адсорбционни помпи с молекулярно сито, помпи с разпръскващи йони, криогенни помпи и др. Ако изискванията не са строги, можете да изберете имате маслена помпа и добавете някои мерки срещу замърсяване с нефт, като добавяне на студени уловители, прегради, уловители на масло и т.н., за да постигнете изисквания за чист вакуум.
6. Разберете състава на изпомпвания газ, дали съдържа кондензиращи пари, дали има прахови частици, дали е корозивен и т.н. Когато избирате вакуумна помпа, трябва да знаете състава на газа и да изберете съответната помпа за газа да се изпомпва. Ако газът съдържа пари, частици и корозивни газове, трябва да помислите за инсталиране на спомагателно оборудване, като например кондензатори, прахоуловители и др., на тръбопровода за входящ въздух на помпата.
7. Какво е въздействието на маслените пари, изпускани от вакуумната помпа, върху околната среда? Ако околната среда не позволява замърсяване, можете да изберете безмаслена вакуумна помпа или да изхвърлите маслените пари на открито.
8. Вибрацията, генерирана от вакуумната помпа по време на работа, оказва ли влияние върху процеса и околната среда? Ако процесът не го позволява, трябва да се избере безвибрационна помпа или да се вземат антивибрационни мерки.
9. Цената, разходите за експлоатация и поддръжка на вакуумните помпи.